活性炭吸附剂达到吸附饱和或接近饱和时，要对其进行脱附，脱附的方式有多种方法可供选择。利用活性炭吸附VOCs多采用低压水蒸气脱附的方法蒸汽温度一般在120℃以下，水蒸气脱附有多种优点。经过水蒸气脱附的活性炭层（一般指颗粒活性炭）要经过热空气干燥再生，以恢复其吸附活性。在吸附高温蒸气的场合，可以不单独设立热空气系统。采用水蒸气脱附时还应考虑吸附质的性质，有些VOCs被活性炭吸附后用水蒸气脱附困难（如下表所列），则应考虑其他脱附方法如脱附温度更高的热空气（一般也不会超过120℃）、热氮气脱附等或利用其他VOCs治理工艺。